低温等离子体技术：低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压到达气体的放电电压时，气体被击穿，发作包含电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系出现低温状况，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发作分化，并发作后续的各种反响以到达降解恶臭废气处理的目的。

低温等离子体的发作途径很多，质阻挠放电是一种取得高气压下低温等离子体的放电办法，这种放电发作于两个电极之间。介质阻挠放电可以在0.1～10105Pa的气压下进行，具有辉光放电的大空间均匀放电和电晕放电的高气压运转的特点。整个放电是由许多在空间和时间上随机分布的微放电构成，这些微放电的持续时间很短，一般在10ns量级。介质层对此类放电有两个主要作用：一是限制微放电中带电粒子的运动，使微放电成为一个个短促的脉冲；二是让微放电均匀稳定地分布在整个面状电极之间，防止火花放电。介质阻挠放电因为电极不直接与放电气体发作触摸，从而避免了电极的腐蚀问题（SO2腐蚀性强）。

恶臭气体处理设备在介质阻挠放电过程中，电子从电场中取得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些取得能量的分子被激起或发作电离构成活性基团，一起空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可发作很多的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列杂乱的物理、化学反响。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激起态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发作反响，转化为CO2和H2O等物质，从而到达净化废气的意图。